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熱壓燒結(jié)爐的三個常見故障及其排除方法:
1、冷卻水故障
?。?)燒結(jié)爐正常運行時,冷卻水溫度應(yīng)控制在15℃至25℃之間。當冷卻水溫度超過25℃但低于30℃時,出水溫度也會升高。為了確保硅片出口溫度不超過40℃,此時必須增加冷卻水的流量。當溫度超過30℃時,必須立即通知上一工序,停止硅片流入燒結(jié)爐。
?。?)如果燒結(jié)爐正常工作時沒有冷卻水,設(shè)備將自動停止并觸發(fā)報警。此時,移除入口和出口傳送帶上的硅片,并在設(shè)備PC上下載冷卻過程。當有冷卻水時,啟動設(shè)備,取出爐中的硅片。然后按照正常加熱步驟升高溫度以恢復生產(chǎn)。
(3)當燒結(jié)爐正常工作時,冷卻水流量突然降低,設(shè)備將自動停止運行,并觸發(fā)報警。此時,首先移除入口和出口傳送帶上的硅片,并在設(shè)備PC上下載冷卻過程。
2、電源故障
燒結(jié)爐正常運行過程中突然停電,應(yīng)立即打開電源控制柜,確認是外部停電還是內(nèi)部停電。如果外部電源故障,應(yīng)立即關(guān)閉主電源開關(guān),并清除進出口傳送帶上的硅片。通電后,應(yīng)從設(shè)備PC下載冷卻過程,打開設(shè)備,取出爐內(nèi)的硅片,然后按照正常啟動加熱步驟加熱,恢復生產(chǎn)。
3、壓縮空氣(CDA)故障
當燒結(jié)爐正常工作時,壓縮空氣流量突然降低,設(shè)備將自動停止運行,并觸發(fā)報警。此時,首先移除入口和出口傳送帶上的硅片,并在設(shè)備PC上下載冷卻過程??赡艿脑蚴橇髁坑嫻收匣蛉肟趬嚎s空氣壓力低。處理方法是更換流量計、減壓閥或通知設(shè)備中心相關(guān)人員增加壓縮空氣壓力。故障排除后,啟動設(shè)備,取出爐內(nèi)的硅片,然后按照正常加熱步驟加熱,恢復生產(chǎn)。
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